潘宁真空计
PEG100
INFICON 潘宁真空计 PEG100 提供可靠的高真空测量. 坚固耐用的潘宁冷阴极传感器
无可烧坏的灯丝. 由于钛阴极板和等离子点燃后降低的高压, 真空计还可运行于溅射的
应用中. 除对数模拟输出讯号外, Fieldbus 选件可使用 Profibus DP 或 DeviceNet
协议, 容易地集成于真空系统中.
优点
■ 宽阔的测量范围从 5 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴
(7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 乇)
■ 全金属冷阴极传感器 (潘宁) 采用陶瓷馈入件
■ 程序的电极形状提供优良的点燃性能
■ 等离子点燃后降低的高压和钛阴极板减少污染的危险, 即使在有氩气的溅射运行
中
■ 阳极环和钛阴极易于清洗或更换
■ 真空计邻近*小的磁场强度
■ LED 指示灯用于指示电源 on 和等离子点燃
■ 对数模拟输出讯号
■ Fieldbus 接口 (Profibus DB, DeviceNet) , 易集成于使用网络通讯的真空系统中
用途
■ 高真空压强监测
■ 蒸发和溅射系统
■ 中, 高真空范围的一般真空测量与控制
